MEMS在手机中的应用

    MEMS，即微机电系统，是一种结合机械和电子的半导体技术，最初大量用于汽车安全气囊，随着技术的进一步发展，手机领域也出现了MEMS元件的身影。

　　应用于手机的MEMS非常广泛，包含MEMS麦克风、3D加速器、RF被动与主动组件、相机稳定与GPS的陀螺仪、小型燃料电池与生化芯片等。这些MEMS产品对于手机新功能的实现起着关键作用。例如：取代ECM麦克风、新人机接口、灵敏度高的RF模块、新光学与影像拍摄功能、定位系统、身份认证、较长的电池寿命等。2005年全球手机MEMS元件应用市场规模约为1.6亿美元，预计2010年将超过10亿美元。

图：2004-2010年手机MEMS应用市场规模

　　MEMS麦克风作为MEMS在手机应用的先锋，2005年已经有10多家厂商加入这一市场战局。目前至少有2家公司——Knowles Acoustics和 SonionMEMS——实现了MEMS麦克风的量产。在这两家公司中，只有Knowles Acoustics的SiSonic麦克风提供手机使用，SiSonic麦克风是基于表面贴装技术的 MEMS麦克风，于2005年9月15日对外发布，并于2006年一季度实现量产；而SonionMEMS公司于2005年9月16日发布的世界上最小的MEMS麦克风（3 立方毫米），则主要应用在助听器上。

　　2005年MEMS麦克风市场全球出货量大约为9500万支，约占2005年全球销售的20亿支麦克风中的5%；而在2003年全球销售的12亿支麦克风中，MEMS麦克风所占的比率还不到1%。从产值来看，用于手机的MEMS麦克风销售值将由2004年的0.18亿美元增长至2008年的2.4亿美元，2010年有望达到4.5亿美元以上的产值。

　　加速传感器和陀螺仪也是手机MEMS的主要应用，其可用于人机介面系统、手机照相稳定、以及手机GPS定位等。全球六大加速传感器制造商为ADI、博世、电装、飞思卡尔、VIT、以及德尔福，六大陀螺仪制造商为BEI、博世、德尔福、三菱、SSS-BAE、以及村田。